PHI ADEPT 2 là thế hệ thiết bị khối phổ ion thứ cấp động (Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry - D-SIMS) dựa trên tứ cực tiếp theo, kế thừa di sản của ADEPT-1010. Thiết bị mang lại độ nhạy cao hơn, độ phân giải chiều sâu tối ưu và vận hành hoàn toàn tự động - được thiết kế cho phân tích bán dẫn tiên tiến và màng mỏng.
Tính năng chính:
- SIMS tốc độ cao và độ nhạy cao: Quang học thu ion thứ cấp được tối ưu hóa cho khắc sâu chiều sâu nhanh, độ nhạy cao
- Độ phân giải chiều sâu tối ưu: Chùm ion mật độ cao năng lượng thấp (xuống đến 250 eV) cải thiện đáng kể độ phân giải chiều sâu cho màng siêu mỏng (<5 nm)
- Phân tích tự động dễ dàng: Giao diện phần mềm GUI đơn giản cho phép thiết lập nhanh phân tích đa điểm với vận hành không cần giám sát
- Đo ổn định sử dụng nguồn ion ICP: Nguồn ion ICP tùy chọn cung cấp chùm O₂⁺ có độ sáng cao nhất hiện có - đạt kích thước điểm chùm tia dưới 0,5 μm
