PHI nanoTOF 3+ là thiết bị phổ khối ion thứ cấp thời gian bay (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry - TOF-SIMS) đa chức năng tiên tiến, có khả năng phân tích khối lượng bề mặt chính xác ở khu vực kích thước micromet - tất cả trong một hệ thống duy nhất.
Tính năng chính:
- Bộ phân tích tĩnh điện hội tụ ba lần (Triple focusing electrostatic analyzer): Đạt được độ phân giải khối lượng cao, độ nhạy cao và giảm bóng trên bề mặt không bằng phẳng
- Công nghệ chùm ion tiên tiến: Tạo ra chế độ độ phân giải không gian cao ở mức <50 nm
- Phân tích tự động không cần giám sát: Tính năng tự động điều chỉnh độ lệch mẫu cho phép thực hiện phép đo không cần giám sát, ngay cả trên mẫu cách điện
- Phân tích thông lượng cao: Hệ thống chuyển mẫu tự động với bãi đỗ tích hợp sẵn
- Trung hòa điện tích chùm tia kép (tùy chọn): Dễ dàng trung hòa điện tích bề mặt của mẫu cách điện
- Phân tích mặt cắt ngang (tùy chọn): Xử lý FIB để tạo hình ảnh TOF-SIMS mặt cắt ngang với một súng ion duy nhất
- Chụp ảnh MS/MS song song (tùy chọn): Cung cấp thông tin đơn giản hơn về cấu trúc phân tử, như nhóm đầu cuối, chuỗi thẳng, liên kết đôi
- Truy cập từ xa: Điều khiển hoàn toàn thiết bị từ xa sau khi mẫu đã được nạp vào hệ thống