PHI 710 là thiết bị phổ điện tử Auger (Auger Electron Spectroscopy - AES) hiệu suất cao, cung cấp thông tin về thành phần nguyên tố và trạng thái hóa học từ bề mặt mẫu, các chi tiết kích thước nanomet, màng mỏng và bề mặt phân cách - với độ phân giải không gian và độ ổn định vượt trội.
Tính năng chính:
- Độ phân giải không gian vượt trội: Phân tích Auger ở cấp độ nanomet tại độ phóng đại 500.000 lần và cao hơn
- Hình học quang học đồng trục: Cung cấp khả năng quan sát vi cấu trúc hoàn toàn và không bị che khuất
- Độ phân giải năng lượng cao: Đạt đến 0,1% cho phân tích và lập bản đồ trạng thái hóa học chi tiết
- Phân tích màng mỏng cấp độ nanomet: Súng ion cột nổi cung cấp khả năng khắc sâu theo chiều sâu cho màng siêu mỏng (<5 nm) và các cấu trúc dày hơn
- Phân tích vật liệu cách điện: Súng ion cột nổi năng lượng thấp cho phép phân tích hiệu quả các vật liệu cách điện
- Giải pháp chuyên dụng cho phân tích tại chỗ (In-Situ): Nhiều phụ kiện tùy chọn cho các thí nghiệm chuyên dụng
- Vỏ bọc cách âm: Giảm thiểu rung động, tiếng ồn và sự trôi nhiệt độ - đảm bảo phân tích ổn định
